推板爐專門設計用于雙溫區CVD工藝也可用于其它高溫材料的熱處理工藝,兩個溫區獨立控制,溫區可單獨使用,也可提供較大梯度差的溫場。硅鉬棒、硅碳棒,硅碳棒,電阻絲組合加熱,在同一腔體內實現不同的溫度差,是CVD工藝的專用理想設備。
今天小編(bian)要與(yu)大家(jia)分享(xiang)的是(shi)推板爐(lu)所具(ju)備的技術(shu)優勢(shi):
1、使用安全性
(1)超(chao)溫(wen)保護功(gong)能,當溫(wen)度超(chao)過允許設定值后,自動斷電(dian)及報警(jing)。
(2)漏電(dian)保護(hu)功能,當(dang)爐體漏電(dian)時自動斷電(dian)。以(yi)上功能確保了(le)使用的安全性。
2、操作便捷性
(1)氣路連接方(fang)式采(cai)用了(le)快速連接法(fa)蘭結構。
(2)使(shi)取放物料過程簡化(hua),只需一支卡箍便可完成氣(qi)路連接,方便操(cao)作。
(3)取消了(le)復雜的法蘭(lan)安(an)(an)裝(zhuang)過程,減少了(le)爐管因安(an)(an)裝(zhuang)造(zao)成損壞的可能(neng)。
3、結構實用性
(1)爐膛材料(liao)采(cai)用多晶莫來纖維(wei)真空吸附制成(cheng),節能50%,溫場均(jun)勻。電(dian)熱元件(jian)采(cai)用表面(mian)溫度(du)(du)1500度(du)(du)的(de)優(you)質硅碳棒(bang)(bang)及表面(mian)溫度(du)(du)1700度(du)(du)的(de)硅鉬棒(bang)(bang)。
(2)密封(feng)法蘭(lan)采(cai)用雙環密封(feng)技術,有效的提高(gao)了爐管兩(liang)端(duan)的氣(qi)密性(xing)。氣(qi)路具有進出氣(qi)微量可調功能。
(3)兩端氣(qi)路支架,支撐(cheng)著氣(qi)路裝置。有效消除(chu)了氣(qi)路總(zong)成自身的應(ying)力(li),杜絕(jue)了因自身應(ying)力(li)而造成的爐管損壞(huai)。
(4)采(cai)用(yong)空氣隔熱技術,結(jie)合(he)熱感應(ying)技術,當(dang)爐體表面溫升到(dao)達50℃時,排(pai)溫風(feng)扇(shan)將(jiang)自動(dong)啟動(dong),使爐體表面快速降溫。
4、控制智能化
(1)電爐溫(wen)度(du)控制(zhi)系統(tong)采用人工(gong)智能(neng)調(diao)節(jie)技術,具有PID調(diao)節(jie)、模糊(hu)控制(zhi)、自(zi)整定功能(neng),并(bing)可編制(zhi)各種升(sheng)降溫(wen)程序(xu)。
(2)國產(chan)程(cheng)序(xu)控(kong)溫(wen)(wen)系統可(ke)編輯50段程(cheng)序(xu)控(kong)溫(wen)(wen),進口(kou)程(cheng)序(xu)控(kong)溫(wen)(wen)系統可(ke)編程(cheng)40段程(cheng)序(xu)控(kong)溫(wen)(wen)。
(3)爐內配置有485轉換接(jie)口(kou),可(ke)實現與(yu)計算機相互(hu)連(lian)接(jie)。完成與(yu)單臺或多達200臺電爐的遠程控制、實時追蹤(zong)、歷史記錄、輸出報(bao)表(biao)等功能(neng)。
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