鐘罩爐所提供的燒結窯爐的主要特性是高效率，其智能控制系統和其他設備構成了一個完整的功能單元，可充分滿足鐵氧體行業近乎藝術級的要求。可以根據需要編寫和儲存任何的溫度/氣氛曲線，來生產高質量的產品。除此以外還可以根據實際需要及時生產任何其他產品，從而縮短交貨期和降低成本。在燒結時僅僅需要少數操作人員，裝載和卸載可以在白天完成，而燒結可以在夜間完成，實現電力調峰，在當今電力緊張情況下，十分實用。

　　目前設備可(ke)用(yong)于砷(shen)化鎵、硅以及其他半導體材料，離(li)子注入后的(de)(de)退火、硅化物(wu)的(de)(de)形成(cheng)、歐姆接觸制備以及快(kuai)速氧化、快(kuai)速氮(dan)化等(deng)方面。鐘罩爐主要(yao)由真空腔(qiang)室(shi)、加熱室(shi)、進氣(qi)系統(tong)、真空系統(tong)、溫度控制系統(tong)、氣(qi)冷(leng)系統(tong)、水(shui)冷(leng)系統(tong)等(deng)幾部分組(zu)成(cheng)的(de)(de)，下(xia)面咱們來了解(jie)下(xia)各組(zu)成(cheng)部分的(de)(de)作(zuo)用(yong)：

　　1.真空(kong)腔室：真空(kong)腔室是其工作空(kong)間，晶圓在這里進行(xing)快速熱處理。

　　2.加(jia)熱室：加(jia)熱室以(yi)多(duo)個紅(hong)外(wai)燈管為(wei)加(jia)熱元件，以(yi)耐高(gao)溫(wen)合(he)金(jin)為(wei)框架、高(gao)純(chun)石英為(wei)主體。

　　3.進氣(qi)系(xi)統：真(zhen)空腔室(shi)尾部(bu)有進氣(qi)孔，控制的(de)進氣(qi)量(liang)用來滿足一些特殊(shu)工藝的(de)氣(qi)體需求。

　　4.真(zhen)(zhen)空(kong)系統：在真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)和真(zhen)(zhen)空(kong)腔室(shi)之(zhi)間(jian)裝有(you)(you)高真(zhen)(zhen)空(kong)電(dian)磁(ci)閥(fa)，可以(yi)有(you)(you)效確保(bao)腔室(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)度，同時避(bi)免(mian)氣體(ti)倒(dao)灌污(wu)染腔室(shi)內的被處理工件。

　　5.溫度(du)控(kong)制(zhi)系統(tong)：溫度(du)控(kong)制(zhi)系統(tong)由溫度(du)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)(qi)、溫度(du)控(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)、電力調整器(qi)(qi)(qi)(qi)、可編(bian)程控(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)、PC及各(ge)種傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)(qi)等(deng)組(zu)成(cheng)。

　　6.氣(qi)冷系(xi)統：真空腔室(shi)的冷卻是通過進氣(qi)系(xi)統向腔室(shi)內充入惰性氣(qi)體，來加速冷卻被熱處理的工(gong)件，滿足工(gong)藝使用要求(qiu)。

　　7.水(shui)冷系統：主(zhu)要包(bao)括真(zhen)空腔室、加熱室、各部位密(mi)封(feng)圈(quan)的(de)冷卻用水(shui)。